Depożizzjoni
Ikseb għarfien u aċċellera l-proċess ta' żvilupp.
Advanced Energy tipprovdi soluzzjonijiet ta' provvista u kontroll tal-enerġija għal applikazzjonijiet kritiċi ta' depożizzjoni ta' film irqiq u ġeometriji ta' apparati. Biex issolvi l-isfidi tal-ipproċessar tal-wejfers, is-soluzzjonijiet ta' konverżjoni tal-enerġija ta' preċiżjoni tagħna jippermettulek tottimizza l-eżattezza, il-preċiżjoni, il-veloċità u r-ripetibbiltà tal-proċess tal-enerġija.
Noffru firxa wiesgħa ta' frekwenzi RF, sistemi ta' enerġija DC, livelli ta' output ta' enerġija personalizzati, teknoloġiji ta' tqabbil, u soluzzjonijiet ta' monitoraġġ tat-temperatura tal-fibra ottika li tassew jippermettulek tikkontrolla aħjar il-plażma tal-proċess. Nintegraw ukoll Fast DAQ™ u s-suite tagħna ta' akkwist tad-dejta u aċċessibbiltà biex nipprovdu għarfien dwar il-proċess u nħaffu l-proċess ta' żvilupp.
Tgħallem aktar dwar il-proċessi tal-manifattura tas-semikondutturi tagħna biex issib is-soluzzjoni li taqbel mal-bżonnijiet tiegħek.
L-Isfida Tiegħek
Minn films użati biex jiddisinjaw id-dimensjonijiet taċ-ċirkwiti integrati għal films konduttivi u iżolanti (strutturi elettriċi), għal films tal-metall (interkonnessjoni), il-proċessi ta' depożizzjoni tiegħek jeħtieġu kontroll fil-livell atomiku - mhux biss għal kull karatteristika iżda wkoll għall-wejfer kollu.
Lil hinn mill-istruttura nnifisha, il-films depożitati tiegħek iridu jkunu ta’ kwalità għolja. Jeħtieġ li jkollhom l-istruttura tal-qamħ mixtieqa, l-uniformità, u l-ħxuna konformali, u jkunu ħielsa mill-vojt — u dan minbarra li jipprovdu l-istress mekkaniku meħtieġ (kompressiv u tensili) u l-proprjetajiet elettriċi.
Il-kumplessità tkompli tiżdied biss. Biex jiġu indirizzati l-limitazzjonijiet tal-litografija (nodi sub-1X nm), tekniki ta' patterning doppji u kwadrupli awtoallinjati jeħtieġu li l-proċess ta' depożizzjoni tiegħek jipproduċi u jirriproduċi l-mudell fuq kull wejfer.
Is-Soluzzjoni Tagħna
Meta tuża l-aktar applikazzjonijiet ta' depożizzjoni u ġeometriji ta' apparati kritiċi, għandek bżonn mexxej tas-suq affidabbli.
It-teknoloġija tal-kunsinna tal-enerġija RF u t-tqabbil b'veloċità għolja ta' Advanced Energy jippermettulek tippersonalizza u tottimizza l-eżattezza, il-preċiżjoni, il-veloċità u r-ripetibbiltà tal-enerġija meħtieġa għall-proċessi avvanzati kollha ta' depożizzjoni PECVD u PEALD.
Uża t-teknoloġija tal-ġeneratur DC tagħna biex tirfina r-rispons konfigurabbli tal-ark tiegħek, il-preċiżjoni tal-qawwa, il-veloċità, u r-ripetibbiltà tal-proċess meħtieġa għall-proċessi ta' depożizzjoni PVD (sputtering) u ECD.
Benefiċċji
● Stabbiltà mtejba tal-plażma u ripetibbiltà tal-proċess iżidu r-rendiment
● Twassil preċiż ta' RF u DC b'kontroll diġitali sħiħ jgħin biex jottimizza l-effiċjenza tal-proċess
● Rispons rapidu għall-bidliet fil-plażma u l-ġestjoni tal-ark
● Pulsazzjoni b'ħafna livelli b'irfinar tal-frekwenza adattiva ttejjeb is-selettività tar-rata tal-inċiżjoni
● Appoġġ globali disponibbli biex jiżgura l-massimu ħin ta' tħaddim u prestazzjoni tal-prodott