Provvista tal-Enerġija tal-Isputtering ta' Frekwenza Medja tas-Serje MSB

Deskrizzjoni Qasira:

Il-provvista tal-enerġija RF tas-serje RHH tiddependi fuq teknoloġija matura ta' ġenerazzjoni RF biex tipprovdi lill-klijenti provvista tal-enerġija RF b'qawwa akbar, preċiżjoni ogħla u rispons veloċi. Bil-fażi li tista' tiġi ssettjata, kontroll tal-polz, irfinar diġitali u funzjonijiet oħra. Oqsma applikabbli: industrija fotovoltajka, industrija tal-wiri b'panel ċatt, industrija tas-semikondutturi, industrija kimika, laboratorju, riċerka xjentifika, manifattura, eċċ.

Proċessi applikabbli: depożizzjoni kimika tal-fwar imsaħħa bil-plażma (PECVD), inċiżjoni bil-plażma, tindif bil-plażma, sors ta' joni ta' frekwenza tar-radju, diffużjoni tal-plażma, sputtering tal-polimerizzazzjoni tal-plażma, sputtering reattiv, eċċ.

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Ibgħatilna email

Karatteristiċi

● Stili ta' nofs briks u mmuntar fuq rack

● Adotta kontroll diġitali sħiħ, b'menu ta' operazzjoni konvenjenti u rikk

● Funzjonijiet ta' irfinar tal-frekwenza, impuls u sinkronizzazzjoni tal-impuls

● Bil-funzjoni ta' sinkronizzazzjoni tal-fażi CEX

● Funzjoni ta' protezzjoni perfetta

Dettalji tal-Prodott

Input	Vultaġġ tad-dħul: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Speċifikazzjonijiet speċjali jistgħu jiġu personalizzati)
Input	Frekwenza tad-dħul: 47~63Hz
Output	Frekwenza tal-ħruġ: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	Firxa ta' sintonizzazzjoni: ±5%
	Qawwa tal-ħruġ: 1.5 ~ 5kW
	Firxa ta' regolazzjoni tal-qawwa tal-ħruġ: 1 ~ 100%
	Impedenza tal-ħruġ: 50Ω+j0
	Interfaċċja tal-ħruġ: tip N
	Modalità tal-ħruġ: kontinwa, impulsiva
	Frekwenza tal-polz: 100Hz ~ 100kHz
	Ċiklu ta' dazju: 5~95%
Indiċi tal-prestazzjoni	Fattur tal-qawwa: 0.98
	Preċiżjoni tal-istabbiltà tal-frekwenza: ±0.005%
	Effiċjenza: 75% (fil-qawwa nominali)
	Armoniku: <45dBc
	Imxerred: <50dBc
	Interfaċċja ta' kontroll estern: kwantità analoga, komunikazzjoni u sinkronizzazzjoni
	Mod ta' komunikazzjoni: Interfaċċja ta' komunikazzjoni standard RS485; Ether CAT fakultattiva, Ethernet industrijali, eċċ.
Nota: il-prodott ikompli jinnova u l-prestazzjoni tkompli titjieb. Din id-deskrizzjoni tal-parametri hija għal referenza biss.