Serje MSB Provvista ta 'Enerġija Sputtering ta' Frekwenza Medju

Deskrizzjoni qasira:

Il-provvista ta 'enerġija RF tas-serje RHH tiddependi fuq teknoloġija ta' ġenerazzjoni RF matura biex tipprovdi lill-klijenti provvista ta 'enerġija RF b'qawwa akbar, preċiżjoni ogħla u rispons mgħaġġel.Bil-fażi jistgħu jiġu stabbiliti, polz kontrollabbli, irfinar diġitali u funzjonijiet oħra.Oqsma applikabbli: industrija fotovoltajka, industrija tal-wiri fuq panew ċatt, industrija tas-semikondutturi, industrija kimika, laboratorju, riċerka xjentifika, manifattura, eċċ.

Proċessi applikabbli: depożizzjoni mtejba tal-fwar kimiku fil-plażma (PECVD), inċiżjoni tal-plażma, tindif tal-plażma, sors tal-jone tal-frekwenza tar-radju, diffużjoni tal-plażma, sputtering tal-polimerizzazzjoni tal-plażma, sputtering reattiv, eċċ.

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Ibgħat email lilna

Karatteristiċi

● Stili ta 'muntaġġ ta' nofs briks u rack

● Tadotta kontroll diġitali sħiħ, b'menu ta 'operazzjoni konvenjenti u għani

● Irfinar tal-frekwenza, funzjonijiet ta 'sinkronizzazzjoni tal-polz u tal-polz

● B'funzjoni ta 'sinkronizzazzjoni tal-fażi CEX

● Funzjoni ta 'protezzjoni perfetta

Dettall tal-Prodott

Input	Vultaġġ tad-dħul: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Speċifikazzjonijiet speċjali jistgħu jiġu personalizzati)
Input	Frekwenza tad-dħul: 47 ~ 63Hz
Output	Frekwenza tal-ħruġ: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	Firxa tal-irfinar: ± 5%
	Qawwa tal-ħruġ: 1.5 ~ 5kW
	Firxa tar-regolament tal-qawwa tal-ħruġ: 1 ~ 100%
	Impedenza tal-ħruġ: 50Ω + j0
	Interfaċċja tal-ħruġ: tip N
	Mod tal-ħruġ: kontinwu, polz
	Frekwenza tal-polz: 100Hz ~ 100kHz
	Ċiklu ta' xogħol: 5 ~ 95%
Indiċi tal-prestazzjoni	Fattur tal-qawwa: 0.98
	Eżattezza tal-istabbiltà tal-frekwenza: ± 0.005%
	Effiċjenza: 75% (b'output nominali)
	Armoniku: ＜-45dBc
	Stray: ＜-50dBc
	Interface ta 'kontroll estern: kwantità analoga, komunikazzjoni u sinkronizzazzjoni
	Mod ta 'komunikazzjoni: Interface ta' komunikazzjoni standard RS485;Fakultattiv Ether CAT, Ethernet industrijali, eċċ.
Nota: il-prodott ikompli jinnova u l-prestazzjoni tkompli titjieb.Din id-deskrizzjoni tal-parametru hija għal referenza biss.