Kontrollur tal-Qawwa tas-Serje TPM5
-
Kontrollur tal-Qawwa tas-Serje TPM5
Il-kontrollur tal-qawwa tas-serje TPM5 jadotta l-idea tad-disinn tal-modulu u jintegra sa 6 ċirkwiti ġewwa.Il-prodotti huma prinċipalment użati fi fran tad-diffużjoni, PECVD, fran epitaxi, eċċ.