Kontrollur tal-Enerġija tas-Serje TPM5
-
Kontrollur tal-Enerġija tas-Serje TPM5
Il-kontrollur tal-enerġija tas-serje TPM5 jadotta l-idea tad-disinn tal-modulu u jintegra sa 6 ċirkwiti ġewwa. Il-prodotti jintużaw prinċipalment f'fran tad-diffużjoni, PECVD, fran tal-epitassija, eċċ.